1、濺射靶材:
成分設(shè)計(jì)合理、表面平整光滑,具有良好的導(dǎo)電性,濺射時(shí)工作電流穩(wěn)定,高阻靶材的底板焊接牢固適用,達(dá)到美國和日本同類靶材的水平。
2、電阻器:
具有阻值集中、穩(wěn)定性好,有良好的耐熱、耐磨和抗氧化性能,電阻溫度系數(shù)小等特點(diǎn)。
靶材型號(hào) |
成份 |
電阻率(μΩ·cm) |
適用電阻范圍(Ω) |
電阻溫度系數(shù)(ppm/℃) |
|
A |
B |
||||
ZYCD超低阻 |
Ni—Cr—Mn—Cu |
42~50 |
<1 |
<50 |
<100 |
ZYC低阻 |
Ni—Cr—Si |
90~120 |
1~50 |
<50 |
<100 |
ZYD低阻 |
Ni—Cr—Si |
131~135 |
2~200 |
<50 |
<100 |
ZYZ中阻 |
Ni—Cr—Si |
138~142 |
200~800 |
<50 |
<100 |